Název:
Differentially Pumped Chamber of VP-SEM Computed by the Use of Cosmos FloWorks Software
Překlad názvu:
Diferenciálně čerpaná komora EREM počítaná pomocí softwaru Cosmos
Autoři:
Maxa, J. ; Neděla, Vilém Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Engineering Mechanics 2008, Svratka (CZ), 2008-05-12 / 2008-05-15
Rok:
2008
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] The article analyses and compares the result of air pumping measurement for selected shapes of differentially pumped chamber to create vacuum, using The Cosmos FloWorks system. Článek analyzuje a porovnává výsledky měření čerpací rychlosti vzduchu pro vybrané tvary diferenciálně čerpané komory vzorku pomocí softwaru Cosmos FloWorks.
Klíčová slova:
Cosmos FloWorks; gas flow; VP SEM Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), KJB200650602 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: Engineering Mechanics 2008, ISBN 978-80-87012-11-6
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0165401