Název: Using Cosmos FloWorks to Design the Differentially Pumped Chamber
Překlad názvu: Using Cosmos FloWorks to Design the Differentially Pumped Chamber
Autoři: Maxa, J. ; Neděla, Vilém
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Engineering Mechanics 2008, Svratka (CZ), 2008-05-12 / 2008-05-15
Rok: 2008
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Environmental scanning electron microscope creates new possibilities in the field of examination various types of specimens and their phases. Using Cosmos FloWorks to design the differentially pumped chamber enable make optimal shape of this chamber, which is very important for god function of VP-SEM. EREM vytváří nové možnosti v oblasti zkoumání různých typů vzorků a jejich fází. Využití Cosmos FloWorks k návrhu diferenciálně čerpané komory dovoluje vytvořit optimální tvar této komory, což je velmi důležité pro správnou funkci EREM.
Klíčová slova: Cosmos FloWorks; VP-SEM
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), KJB200650602 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Engineering Mechanics 2008, ISBN 978-80-87012-11-6

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0165400

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39406


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference