Název: Plasma study during pulsed laser deposition of nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite thin films and their structural characterization
Překlad názvu: Studium plazmatu během pulsní laserové depozice kompozitních vrstev nanokrystalického diamantu/amorfního uhlíku a jejich strukturní vlastnosti
Autoři: Novotný, Michal ; Jelínek, Miroslav ; Bulíř, Jiří ; Vorlíček, Vladimír ; Mosnier, J.-P. ; Duclére, J.-R. ; Popov, C.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: NANO ´04 International Conference, Brno (CZ), 2004-10-13 / 2004-10-15
Rok: 2004
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite thin films were prepared by hybrid technique combining pulsed laser deposition with a capacitively coupled radiofrequency discharge. Optical emission spectroscopy was performed for plasma monitoring during the deposition process. Kompozitní vrstvy nanokrystalického diamantu/amorfního uhlíku byly připravovány pomocí hybridní pulsní laserové depozice s kombinací radiofrekvenčního výboje. Depoziční proces byl monitorován pomocí optické emisní spektroskopie.
Klíčová slova: nanocrystalline diamond; optical emission spectroscopy; pulsed laser deposition
Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010921 (CEP), IAA1010110 (CEP), LN00A015 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA MŠk
Zdrojový dokument: NANO ´04, ISBN 80-214-2793-0

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0164184

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39199


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference