Original title: Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM
Translated title: Článek charakterizuje způsoby zavedení rastrovací verze LEEM do konvenčního SEM prostřednictvím vložení katodové čočky pod objektiv přístroje. Shrnuty jsou základní vlastnosti rastrovacího LEEMu
Authors: Novák, Libor ; Müllerová, Ilona
Document type: Papers
Conference/Event: Multinational Congress on Microscopy /8./, Prague (CZ), 2007-06-17 / 2007-06-21
Year: 2007
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Procedure of signal processing in the Everhart-Thornley type of the secondary electron detector in the SEM is analyzed as regards signal statistics, detective quantum efficiency and transport and possible losses of information. Proces zpracování signálu v detektoru sekundárních elektronů Everhart-Thornleyho typu v rastrovacím elektronovém mikroskopu je analyzován pokud jde o statistiku signálu, detekční kvantovou účinnost a přenos informace a její případné ztráty.
Keywords: secondary electron images; SEM; signal processing
Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/05/2327 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy, ISBN 978-80-239-9397-4

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0152591

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-37950


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers