Original title:
Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM
Translated title:
Článek charakterizuje způsoby zavedení rastrovací verze LEEM do konvenčního SEM prostřednictvím vložení katodové čočky pod objektiv přístroje. Shrnuty jsou základní vlastnosti rastrovacího LEEMu
Authors:
Novák, Libor ; Müllerová, Ilona Document type: Papers Conference/Event: Multinational Congress on Microscopy /8./, Prague (CZ), 2007-06-17 / 2007-06-21
Year:
2007
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] Procedure of signal processing in the Everhart-Thornley type of the secondary electron detector in the SEM is analyzed as regards signal statistics, detective quantum efficiency and transport and possible losses of information.Proces zpracování signálu v detektoru sekundárních elektronů Everhart-Thornleyho typu v rastrovacím elektronovém mikroskopu je analyzován pokud jde o statistiku signálu, detekční kvantovou účinnost a přenos informace a její případné ztráty.
Keywords:
secondary electron images; SEM; signal processing Project no.: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/05/2327 (CEP) Funding provider: GA ČR Host item entry: Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy, ISBN 978-80-239-9397-4
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0152591