Original title: SMV-2017-27: Charakterizace vzorků s deponovanými tenkými vrstvami
Translated title: SMV-2017-27: Characterization of samples with thin layers
Authors: Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Document type: Research reports
Year: 2017
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Vývoj planárních mikrostruktur pro optické aplikace, realizace vzorků metodou elektronové litografie a následná charakterizace vzorků. Projekt zahrnuje zpracování a analýzu technického zadání, návrh optimální planární mikrostruktury realizující požadované vlastnosti, výzkum a modelování možností fyzikální a technologické realizace mikrostruktur s ohledem na limity vědeckých přístrojů, kterými disponujeme ve své laboratoři, přípravu datových vstupů pro expozici na elektronovém litografu, vlastní realizaci vzorků, vyhodnocení těchto vzorků a zpracování technické dokumentace. Development in the field of planar microstructures for optical applications, physical realization of structures by means of electron beam lithography and characterization of the samples. The project covers the processing and analysis of the graphical motive, research and application of planar microstructures performing required properties, research and modeling of the physical possibilities of implementation of microstructures, regard to the limits of current scientific instruments in our laboratory, data preparation for e-beam lithography exposure, samples exposure, verification of properties of samples and technical documentation preparation.
Keywords: e-beam lithography; microstructures; optics; thin layers

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0278778

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-370721


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Reports > Research reports