Název: SMV-2017-27: Charakterizace vzorků s deponovanými tenkými vrstvami
Překlad názvu: SMV-2017-27: Characterization of samples with thin layers
Autoři: Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2017
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Vývoj planárních mikrostruktur pro optické aplikace, realizace vzorků metodou elektronové litografie a následná charakterizace vzorků. Projekt zahrnuje zpracování a analýzu technického zadání, návrh optimální planární mikrostruktury realizující požadované vlastnosti, výzkum a modelování možností fyzikální a technologické realizace mikrostruktur s ohledem na limity vědeckých přístrojů, kterými disponujeme ve své laboratoři, přípravu datových vstupů pro expozici na elektronovém litografu, vlastní realizaci vzorků, vyhodnocení těchto vzorků a zpracování technické dokumentace. Development in the field of planar microstructures for optical applications, physical realization of structures by means of electron beam lithography and characterization of the samples. The project covers the processing and analysis of the graphical motive, research and application of planar microstructures performing required properties, research and modeling of the physical possibilities of implementation of microstructures, regard to the limits of current scientific instruments in our laboratory, data preparation for e-beam lithography exposure, samples exposure, verification of properties of samples and technical documentation preparation.
Klíčová slova: e-beam lithography; microstructures; optics; thin layers

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0278778

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-370721


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy