Název:
Vliv Everhart-Thornleyho detektoru na zobrazovaný signál
Překlad názvu:
Imaging properties of Everhart-Thornley detector
Autoři:
Novák, Libor ; Müllerová, Ilona Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Mikroskopie 2006, Nové Město na Moravě (CZ), 2006-02-16 / 2006-02-17
Rok:
2006
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Práce se zabývá detekcí sekundárních elektronů v SEM pomocí Everhart-Thornleyho detektoru. Jsou zde shrnuty experimentální výsledky popisující vlastnosti signálu v jednotlivých částech E.-T. detektoru. Pomocí numerického modelu poskytujícího výstupní signál detektoru jsou porovnány různé detekční módy E.-T. detektoru.The paper deals with the detection of secondary electrons in SEM by means of Everhart-Thornley type of detector. Experiment results showing signal properties in individual parts of the detector are presented. Different detection modes are compared using numerical simulation of the E.-T. detector.
Klíčová slova:
detection; Everhart-Thornley; SEM Číslo projektu: GA102/04/2144 (CEP) Poskytovatel projektu: GA ČR Zdrojový dokument: Mikroskopie 2006
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0140971