Název: Electrostatic mini SLEEM for surface studies
Autoři: Romanovský, Vladimír ; El-Gomati, M.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: CSEM, Vranovská Ves (CZ), 2002-02-08 / 2002-02-09
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: Exploitation of the low-energy electrons is advantageous for several reasons. One of them is their smaller penetration depth into the material, which reveals itself as favourable for the surface analysis. Using the low-energy electrons even causes partial, and in some cases total elimination ofcharging effects at non-conductive or slightly conductive specimens. Slowprimary electrons (PE) cause only reduced radiation damage of specimens.
Klíčová slova: charging effect; low-energy electrons; non-conductive specimens
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society, ISBN 80-238-8749-1

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101103

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29541


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference