host ::
přihlásit
Digitální repozitář
Hledej
Nový záznam
Nápověda
O repozitáři
Hlavní stránka
>
Zprávy
>
Výzkumné zprávy
> SMV-2016-02: Lift-off technologie pro metalické mikrostruktury
Informace
Soubory
Název:
SMV-2016-02: Lift-off technologie pro metalické mikrostruktury
Překlad názvu:
SMV-2016-02: Lift-off technology for metallic microstructures
Autoři:
Krátký, Stanislav
;
Kolařík, Vladimír
;
Horáček, Miroslav
;
Matějka, Milan
;
Chlumská, Jana
;
Meluzín, Petr
;
Král, Stanislav
Typ dokumentu:
Výzkumné zprávy
Rok:
2016
Jazyk:
cze
Abstrakt:
[cze]
[eng]
Výzkum a vývoj v oblasti přípravy metalických mikrostruktur na kovové podložce.
Research and development in the field of metallic microstructures on copper substrate.
Klíčová slova:
e-beam lithography
;
lift-off technology
;
metallic microstructure
;
reactive ion etching
Instituce:
Ústav přístrojové techniky AV ČR (
web
)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam:
http://hdl.handle.net/11104/0266240
Trvalý odkaz NUŠL:
http://www.nusl.cz/ntk/nusl-262482
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum
>
AV ČR
>
Ústav přístrojové techniky
Zprávy
>
Výzkumné zprávy
Záznam vytvořen dne 2017-01-11, naposledy upraven 2021-11-24.
Podobné záznamy
Není přiložen dokument
Exportovat ve formátu
DC
,
NUŠL
,
RIS
Sdílet