Original title:
SMV-2016-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky
Translated title:
SMV-2016-01: Relief structures based on diffractive optics
Authors:
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav Document type: Research reports
Year:
2016
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace grafických a optických struktur na principu difraktivní optiky prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném křemíkovou nebo skleněnou deskou.Research and development in the field of physical realization of graphic and optical structures based on the principle of diffractive optics by means of electron beam lithography in a recording material supported by a silicon or glass board.
Keywords:
diffractive optical structures; e-beam lithography; relief structure
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0266238