Název:
SMV-2016-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky
Překlad názvu:
SMV-2016-01: Relief structures based on diffractive optics
Autoři:
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok:
2016
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace grafických a optických struktur na principu difraktivní optiky prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném křemíkovou nebo skleněnou deskou.Research and development in the field of physical realization of graphic and optical structures based on the principle of diffractive optics by means of electron beam lithography in a recording material supported by a silicon or glass board.
Klíčová slova:
diffractive optical structures; e-beam lithography; relief structure
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0266238