Název: Tenké vrstvy připravené v RF doutnavém výboji a jejich fyzikálně-chemické vlastnosti
Překlad názvu: Thin films prepared in RF glow discharge and their physico-chemical properties
Autoři: Bránecký, Martin ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2015
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]

Klíčová slova: FT-IR; hmotnostná spektroskopia; PE-CVD; plazma; spektroskopická elipsometria; Tenké vrstvy; tetravinylsilan (TVS).; FT-IR; mass spectroscopy; PE-CVD; plasma; spectroscopic ellipsometry; tetravinylsilane (TVS).; Thin film

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/39164

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-221284


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce
 Záznam vytvořen dne 2016-06-03, naposledy upraven 2022-09-04.


Není přiložen dokument
  • Exportovat ve formátu DC, NUŠL, RIS
  • Sdílet