Název:
Kontrast v obraze získaném pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM
Překlad názvu:
Contrast in image aquired by scintillation SE detector for VP SEM
Autoři:
Koudela, Oldřich ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2011
Jazyk:
cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze][eng]
První část této práce je teoretické pojednání o základech rastrovací elektronové mikroskopie, složení a funkci elektronového mikroskopu, jeho speciálním případu rastrovacím elektronovém mikroskopu pro vyšší tlak (VP SEM), interakci elektronů s prostředím a o scintilačním detektoru. Praktická část je zaměřena na vyhodnocení materiálového kontrastu na vzorku mědi a wolframu v závislosti na tlaku vodních par v komoře vzorku mikroskopu a podmínkách detekce.
First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of scanning electron microscopy, with structure and function of a scanning electron microscope, its’ special case of an various pressure scanning electron microscope, electron interaction with surrounding environment and with a scintillation detector. The applied part of the thesis is focused on evaluation of material contrast on Cu-W specimen. Material contrast is evaluated for different pressures of water vapors in the microscope specimen chamber and for different detection conditions.
Klíčová slova:
materiálový kontrast; Rastrovací elektronový mikroskop pracující při vyšším tlaku; scintilační detektor; material contrast; scintillation detector; Various pressure scanning electron microscope
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/8167