Original title:
Kontrast v obraze získaném pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů ve VP SEM
Translated title:
Contrast in image aquired by scintillation SE detector for VP SEM
Authors:
Koudela, Oldřich ; Špinka, Jiří (referee) ; Jirák, Josef (advisor) Document type: Master’s theses
Year:
2011
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
První část této práce je teoretické pojednání o základech rastrovací elektronové mikroskopie, složení a funkci elektronového mikroskopu, jeho speciálním případu rastrovacím elektronovém mikroskopu pro vyšší tlak (VP SEM), interakci elektronů s prostředím a o scintilačním detektoru. Praktická část je zaměřena na vyhodnocení materiálového kontrastu na vzorku mědi a wolframu v závislosti na tlaku vodních par v komoře vzorku mikroskopu a podmínkách detekce.
First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of scanning electron microscopy, with structure and function of a scanning electron microscope, its’ special case of an various pressure scanning electron microscope, electron interaction with surrounding environment and with a scintillation detector. The applied part of the thesis is focused on evaluation of material contrast on Cu-W specimen. Material contrast is evaluated for different pressures of water vapors in the microscope specimen chamber and for different detection conditions.
Keywords:
material contrast; scintillation detector; Various pressure scanning electron microscope; materiálový kontrast; Rastrovací elektronový mikroskop pracující při vyšším tlaku; scintilační detektor
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/8167