Název: Catalysts for ozone sensitivity enhancement of thin sensors
Autoři: Fryček, R. ; Myslík, V. ; Vrňata, M. ; Jelínek, Miroslav
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Electronic Devices Systems Conference 2003 /10./, Brno (CZ), 2003-09-09 / 2003-09-10
Rok: 2003
Jazyk: eng
Abstrakt: Inorganic(In.sub.2./sub.O.sub.3./sub.) and organic (InAcAc) thin films were created by pulsed laser deposition on special alumina chips by KrF excimer laser.Influence of addition catalyst was studied. Catalysts Ni, Fe and Zr were deposited by sputtering in sequence. After each step sensitivity and dynamic behavior were measured.
Klíčová slova: gas sensors, catalyst; pulsed laser deposition; thin film
Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), GA106/00/P011 (CEP), GA104/03/0406 (CEP), GP106/01/P089 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA ČR, GA ČR
Zdrojový dokument: Electronic Devices and Systems 03 - Proceedings, ISBN 80-214-2452-4

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0032377

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-21896


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference