Název: Profilometrie pomocí interference bílého světla
Překlad názvu: Profilometry by means of white light interference
Autoři: Pavlíček, Pavel
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Inženýrská mechanika 2002, Svratka (CZ), 2002-05-13 / 2002-05-16
Rok: 2002
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Profilometrie pomocí interference světla je metoda vhodná pro prověření topologie technických prvků, Jedná se o bezkontaktní optickou metodu, při které je proměřen výškový profil předmětu s přesností přibližne 1ćm. Profilometry by means of white-light interference is a suitable method for measurement of topology of rough surfaces. This contactless optical method measures the height profile with an uncertainly of about 1ćm.
Klíčová slova: height profile; interference; profilometry; rough surface; white-light
Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010921 (CEP), LN00A015 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk
Zdrojový dokument: Inženýrská mechanika 2002

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0031725

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-21866


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference