Original title:
Profilometrie pomocí interference bílého světla
Translated title:
Profilometry by means of white light interference
Authors:
Pavlíček, Pavel Document type: Papers Conference/Event: Inženýrská mechanika 2002, Svratka (CZ), 2002-05-13 / 2002-05-16
Year:
2002
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Profilometrie pomocí interference světla je metoda vhodná pro prověření topologie technických prvků, Jedná se o bezkontaktní optickou metodu, při které je proměřen výškový profil předmětu s přesností přibližne 1ćm.Profilometry by means of white-light interference is a suitable method for measurement of topology of rough surfaces. This contactless optical method measures the height profile with an uncertainly of about 1ćm.
Keywords:
height profile; interference; profilometry; rough surface; white-light Project no.: CEZ:AV0Z1010921 (CEP), LN00A015 (CEP) Funding provider: GA MŠk Host item entry: Inženýrská mechanika 2002
Institution: Institute of Physics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0031725