Název: Study of RF discharge properties for hybrid pulsed laser deposition
Autoři: Novotný, M. ; Jelínek, Miroslav ; Bulíř, Jiří ; Zelinger, Zdeněk ; Lančok, Ján
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Workshop 2001, Praha (CZ), 2001-02-00
Rok: 2001
Jazyk: eng
Abstrakt: We have created CN.sub.x layers by pulsed laser deposition (PLD) using graphite target in N./sub.2 ambient and KrF excimer laser. We have found that active nitrogen plays an important role in this task. We have studied the influence of various RF parameters on the activation of nitrogen by optical emission spectroscopy.
Klíčová slova: activation of nitrogen; CN.sub.2./sub.; pulsed laser deposition
Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), IAA1010110 (CEP), LN00A015 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA MŠk
Zdrojový dokument: Proceedings of Workshop 2001

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0031434

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-21842


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference