Název: Scintilační detektor sekundárních elektronů s řízeným prouděním plynů pro EREM
Překlad názvu: Scintillation SE Detector with Controlled Gas Flow for VP SEM
Autoři: Kozák, Josef ; Neděla, Vilém (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2009
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Diplomová práce se zabývá návrhem a optimalizací konstrukce experimentálního scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop a popisem principu činnosti uvedeného detektoru. Experiment vychází ze simulací proudění plynu ve vnitřních částech detektoru a simulací drah sekundárních elektronů v elektrostatických polích detektoru. Na základě těchto simulací jsou provedeny návrhy nových konstrukčních řešení detektoru. Pro navržené konstrukce jsou opětovně realizovány simulace proudění plynu a drah elektronů. Z navržených konstrukcí detektoru jsou vybrány takové, které se jeví být vhodné pro detekci sekundárních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. This master’s thesis deals with a design and optimization of an experimental scintillation secondary electron detector for the environmental scanning electron microscope and with a description of a detector operation principle. The experiment is founded on simulations of a gas flow in detector inner sections and on simulations of secondary electron trajectories in electrostatic fields of the detector. On the basis of the simulations, new solutions of the detector designs are proposed. For these designs, same simulations as previous are performed and designs that seem to be feasible for the secondary electron detection in environmental scanning electron microscope are selected.
Klíčová slova: Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie (EREM); proudění plynů; scintilační detektor SE; sekundární elektrony (SE); simulace drah elektronů.; Environmental scanning electron microscope (environmental SEM; gas flow; scintillation SE detector; secondary electrons (SE); simulation of electrons trajectory.; VP SEM)

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/2745

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-217926


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce