Original title:
Humidity Measurement and Adjustment at Environmental Conditions
Translated title:
Měření a nastavování vlhkosti v Environmnetálním rastrovacím elektronovém mikroskopu
Authors:
Autrata, Rudolf ; Jirák, Josef ; Neděla, Vilém ; Špinka, J. Document type: Papers Conference/Event: Recent Trends /9./ in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, Skalský Dvůr (CZ), 2004-07-12 / 2004-07-16
Year:
2004
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] When we are detecting signal electrons with an ionization detector in ESEM, the most advantageous is to use, with respect to the effectiveness of ionization, environment of water vapours in the specimen chamber. The most suitable are saturated water vapours (relative humidity of 100%). This environment is also advantageous for observation of specimens containing water. At pumping of the specimen chamber to the working pressure (typically around 1000 Pa), in the case of wet specimens, evaporation of specimen can occur, or on the contrary, condensation of water on them. It means, that in some cases the specimen will not remain in the original state. That is why we try to adjust and optimize the pumping procedure and pumping of water vapors to minimize deformation of the observed specimensPři detekci signálních elektronů v ESEM je vhodné použít vodní páry v komoře vzorku mikroskopu. Nejvhodnější je použití nasycené vodní páry (relativní vlhkost 100%). Toto prostředí je také vhodné pro pozorování vzorků které obsahují vodu, Při čerpání komory vzorku mikroskopu na parcovní tlak (typicky okolo 100Pa), může dojít k odpařování vody ze vzorku, nebo naopak ke kondenzaci vodních par na vzorku. To znamená, že v některých případech nezůstává vzorek v původním stavu. Proto se snažíme nastavovat a řídit čerpací proces tak aby byla minimalizována deformace pozorovaných vzorků
Keywords:
ESEM; humidity measurement; pumping procedure Project no.: CEZ:AV0Z2065902 (CEP) Host item entry: Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-3246-2
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0016148