Název: Study of plasma in hybrid PLD system for CN.sub.x./sub. films creation
Překlad názvu: Studium plasmy v hybridním PLD systému pro přípravu CN.sub.x./sub. vrstev
Autoři: Novotný, Michal ; Jelínek, Miroslav ; Bulíř, Jiří ; Lančok, Ján ; Zelinger, Zdeněk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Workshop O.K. 2002, Praha (CZ), 2002-10-01 / 2002-10-05
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
We have developed hybrid PLD systems (combination of PLD and additional radiofrquency discharges) for increasing active nitrogen concentration in plasma and consequently N/C ratio in deposited films. For study of plasma and plasma processes we have used OES Byl vyvinut nový hybridní PLD systém (kombinace PLD s přídavným radiofrekvenčným výbojem) pro zvýšení koncentrace aktivního dusíku v plasmě a následně poměru N:C v připravených vrstvách. Pro studium plasmy a procesů v ní byla použita metoda OES
Klíčová slova: CN x films; hybrid PLD system
Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), IAA1010110 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Optické komunikace

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0011509

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-19741


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference