Original title: SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM
Translated title: SMV-2012-12: Testing specimens for SEM
Authors: Matějka, Milan ; Kolařík, Vladimír ; Urbánek, Michal ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Horáček, Miroslav ; Král, Stanislav
Document type: Research reports
Year: 2012
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém čipu. Využití pro testování metriky elektronových rastrovacích mikroskopů a kalibrací zorného pole. Čip je připraven pomocí elektronové litografie a dalších technik. Research and development in the field of relief testing structures on Silicon wafer. The specimen is to be used for testing of metrics of scanning electron microscopes (SEM) as well as for the calibration of the SEM view of field. The samples are prepared by means of electron-beam lithography and related techniques.
Keywords: anisotropic Silicon etching; dimensional standard; e-beam lithography; e-beam microscopy

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0232003

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-180268


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Reports > Research reports