Název: SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM
Překlad názvu: SMV-2012-12: Testing specimens for SEM
Autoři: Matějka, Milan ; Kolařík, Vladimír ; Urbánek, Michal ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Horáček, Miroslav ; Král, Stanislav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2012
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém čipu. Využití pro testování metriky elektronových rastrovacích mikroskopů a kalibrací zorného pole. Čip je připraven pomocí elektronové litografie a dalších technik. Research and development in the field of relief testing structures on Silicon wafer. The specimen is to be used for testing of metrics of scanning electron microscopes (SEM) as well as for the calibration of the SEM view of field. The samples are prepared by means of electron-beam lithography and related techniques.
Klíčová slova: anisotropic Silicon etching; dimensional standard; e-beam lithography; e-beam microscopy

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0232003

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-180268


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy