Název:
Use systems for the analysis of gas flow
Autoři:
Maxa, J. ; Neděla, Vilém ; Hladká, K. ; Vyroubal, P. ; Vaculík, S. ; Hlavatá, P. Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM, Mikulov (CZ), 2014-08-26 / 2014-08-31
Rok:
2014
Jazyk:
eng
Abstrakt: Environmental scanning electron microscope is explaining withdrawing of two differentially pumped chambers in a drawing area. To solve this problem is used finite volume method. This method includes several steps: - With using of mesh the area is dividing into discrete volume. - Discretization and balancing of the unknown quantities in each finite volume - Numerical solution of discretized equations.
Klíčová slova:
ESEM; finite volume method Číslo projektu: EE.2.3.20.0103 Poskytovatel projektu: GA MŠk Zdrojový dokument: Workshop of Interesting Topics of SEM and ESEM, ISBN 978-80-87441-12-1
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0238654