Název: Polishing a polymer interlayers for diamond-diamond wafer bonding
Autoři: Babchenko, Oleg ; Verveniotis, Elisseos ; Ledinský, Martin ; Rezek, Bohuslav ; Vallin, Ö. ; Kromka, Alexander
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Workshop on Diamond Nanotechnology and Science Progress, Prague (CZ), 2011-06-15 / 2011-06-17
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: Surfaces of as-grown samples had high local peaks (detected by white light interferometer) that impede diamond to diamond bonding as directly as by employing interlayer polymer.
Klíčová slova: AFM; focused plasma; linear antenna plasma; nanocrystalline diamond; SEM
Číslo projektu: CEZ:AV0Z10100521 (CEP)
Zdrojový dokument: Proceedings of the International Workshop on Diamond Nanotechnology and Science Progress - DINAS 2011, ISBN 978-80-260-1593-2

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0220756

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-152765


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference