|
|
Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
Zanáška, Michal ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Dvořák, Pavel (oponent) ; Straňák, Vítězslav (oponent)
Tato disertačnı́ práce se zabývá experimentálnı́m studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivnı́ho naprašovánı́. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucı́ harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měřenı́ iontové koncentrace a elektronové teploty v nı́zkoteplotnı́m technolo- gickém plazmatu. Běžně je použı́vána klasická Langmuirova sonda, ale jejı́použitı́ v podmı́nkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřı́cı́ metoda plovoucı́ harmonické sondy řešı́ tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měřenı́ plovoucı́ harmonickou sondou jsou porovnány s měřenı́m Langmuirovou sondou při nereaktivnı́ch podmı́nkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena jejı́ funkčnost i během reaktivnı́ch podmı́nek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucı́harmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulznı́ch výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocı́této metody může být určena kapacita a...
|
|
|
Příprava a charakterizace plazmatem aktivované vody
Lemonová, Hana ; Klímová, Edita (oponent) ; Krčma, František (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá vhodnými metodami k přípravě plazmatem aktivované vody. Teoretická část je zaměřena na seznámení se s plazmatem aktivovanou vodu a metodami k její přípravě. V experimentální části této práce byly charakterizovány vybrané fyzikálně chemické vlastnosti, a to vodivost, hodnota pH a stabilita peroxidu vodíku. Důležitým aspektem této práce bylo zjištění vhodných skladovacích podmínek pro plazmatem aktivovanou vodu. Cílem této práce bylo vygenerování PAW pomocí různých metod se stabilními vlastnostmi, kterou lze snadno skladovat. Bylo zjištěno, že při přípravě pomocí diafragmového výboje je nejlepší skladovat PAW ve tmě, kdy má stabilní vlastnosti. PAW připravená v systému trysky v kapalině je vhodná ke skladování v lednici, kdy dochází k pomalému rozkladu peroxidu vodíku. Míra účinnost mikrovlnné trysky na generaci PAW je zapříčiněna zaváděním plynu, jako je například argon.
|
|
|
Application of low temperature plasma jet systems for the deposition of thin films
Hubička, Zdeněk ; Kment, Štěpán ; Olejníček, Jiří ; Čada, Martin ; Straňák, V. ; Klusoň, J. ; Tichý, M. ; Klusoň, Petr
The low pressure DC pulsed or RF pulsed modulated hollow cathode plasma jets worked on the principle of the reactive sputtering of the hollow cathode usually in the gas mixture of Ar + O2 or N2. The DC pulsed power supplier was applied with combination of the RF source for the plasma jets generation. It was clearly demonstrated that properties of TiO2 and TiO2:N films significantly depended on the plasma parameters. First, the produced films were characterized with the aid of a number of methods (AFM, SEM, XRD, Raman spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), UV–vis spectrometry). Further, the films were judged in terms of their specific optical functionality to generate photocurrents upon being illuminated with spectrally well defined narrow light beams. The parameters of the chemically reactive plasma in the jets were determined using the time-resolved Langmuir probe system. The measurement of the ion energy distribution function was performed by means of the RFA.
|
|
| |
|
|
Impulsní plazmatické systémy
Klusoň, Jan ; Kudrna, Pavel (vedoucí práce) ; Krčma, František (oponent) ; Čada, Martin (oponent)
Disertační práce se zabývá experimentálním studiem nízkoteplotního plazmatu určeného k přípravě tenkých vrstev metodou fyzikálního naprašování. Popisuje měření, která byla realizována na dvou typech zařízení - na systému nízkotlaké plazmové trysky a na rovinném magnetronu. Hlavní téma práce představuje diagnostika plazmatu při pulzním režimu buzení výboje. Výboj nízkotlaké plazmové trysky byl studován prostřednictvím elektrostatické Langmuirovy sondy, v případě planárního magnetronu byla provedena hmotnostní spektroskopie s energetickým i časovým rozlišením. K porozumění výsledkům dosaženým v pulzně generovaném plazmatu je nezbytná dobrá znalost základního režimu výboje, jímž je kontinuální stejnosměrný režim. Významná část práce je proto věnována právě kontinuálnímu stejnosměrnému režimu výboje. V případě nízkotlaké plazmové trysky je pozornost zaměřena i na charakteristickou vlastnost daného plazmového zdroje, kterou je proudění z trysky.
|
|
|
Studium parametrů plazmatu v plazmatické trysce
Štefániková, Estera ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Klusoň, Jan (oponent)
Tato bakalářská práce se zabývá diagnostikou nízkoteplotního plazmatu pomocí Langmuirovy sondy. Měření byla provedena na systému plazmové trysky, který je velmi perspektivní zejména pro depozici tenkých vrstev. Kromě různých odolných a průmyslově zajímavých vrstev existují i vrstvy se speciálními elektrickými nebo optickými vlastnostmi, které jiným způsobem připravit nelze. Znalost parametrů používaného plazmatu je nezbytná pro řízení a reprodukovatelnost materiálových depozic. Hlavní přínos předkládané práce spočívá v proměření vertikálních profilů hlavních parametrů plazmatu (elektronová teplota, hustota a střední energie; plovoucí potenciál, potenciál plazmatu) za různých tlaků.
|
|
|
Technologie výroby rámu skříně
Tvarůžek, Martin ; Kalivoda, Milan (oponent) ; Osička, Karel (vedoucí práce)
V bakalářské práci se porovnává a vyhodnocuje nejvýhodnější technologie výroby součásti rámu skříně. Jedná se o skříně sloužící k indukčnímu ohřevu materiálu. Porovnávána je technologická stránka dělení materiálu pomocí plazmového paprsku, vodního paprsku a laseru a také je hodnoceno ekonomické hledisko pro využití dané technologie.
|
|
| |
|
|
Volumetric Velocimetry and Accelerometry of Injected Particles in Thermal Plasma Jet
Šonský, Jiří
Measurements of the injected particles velocities and accelerations in the plasma jet are important for thermal plasma spraying technology improvement. Commonly used methods of optical diagnostic, such as particle image velocimetry (PIV) or particle tracking velocimetry and accelerometry (PTVA),are complicated due to strong optical self-emission of the plasma jet. We have developed 3-D variant of the PTVA, able to measure particle velocities and accelerations in hot core of the thermal plasma jet, as well as in surrouding areas, such as entrance of particle flow into the plasma jet.
|
|
|
Numerical simulations of jet formation in laser-target interactions
Váchal, P. ; Liska, R. ; Kuchařík, M. ; Limpouch, J. ; Kmetík, Viliam
Cylindrical version of our two-dimensional Arbitrary Lagrangian Eulerian code PALE is applied for numerical studies of dense plasma jet formation from laser targets. Well collimated plasma expansion from a massive solid target irradiated by a single laser beam with a special profile is investigated. Particular interaction beam profile with intensity minimum in the beam centre is found to be responsible for jet formation during plasma expansion. A deep concave interaction beam profile at PALS is obtained from our simulation of the laser propagation in the amplifying chain and in the focusing system.
|
host ::
RSS.