|
|
Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
Zanáška, Michal ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Dvořák, Pavel (oponent) ; Straňák, Vítězslav (oponent)
Tato disertační práce se zabývá experimentálním studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivního naprašování. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucí harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měření iontové koncentrace a elektronové teploty v nízkoteplotním technolo- gickém plazmatu. Běžně je používána klasická Langmuirova sonda, ale jejípoužití v podmínkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřící metoda plovoucí harmonické sondy řeší tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měření plovoucí harmonickou sondou jsou porovnány s měřením Langmuirovou sondou při nereaktivních podmínkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena její funkčnost i během reaktivních podmínek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucíharmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulzních výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocítéto metody může být určena kapacita a...
|
|
| |
|
|
Probe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin films
Zanáška, Michal ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Dvořák, Pavel (oponent) ; Straňák, Vítězslav (oponent)
Tato disertačnı́ práce se zabývá experimentálnı́m studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivnı́ho naprašovánı́. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucı́ harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měřenı́ iontové koncentrace a elektronové teploty v nı́zkoteplotnı́m technolo- gickém plazmatu. Běžně je použı́vána klasická Langmuirova sonda, ale jejı́použitı́ v podmı́nkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřı́cı́ metoda plovoucı́ harmonické sondy řešı́ tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měřenı́ plovoucı́ harmonickou sondou jsou porovnány s měřenı́m Langmuirovou sondou při nereaktivnı́ch podmı́nkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena jejı́ funkčnost i během reaktivnı́ch podmı́nek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucı́harmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulznı́ch výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocı́této metody může být určena kapacita a...
|
|
| |
|
|
Experimentální studium využití sondových metod pro diagnostiku nízkoteplotního zamagnetovaného plazmatu
Zanáška, Michal ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Adámek, Jiří (oponent)
Ball-pen pen sonda je poměrně nová diagnostická metoda určená pro přímé měření potenciálu plazmatu ve zmagnetizovaném plazmatu. V dnešní době je již běžně používaná na několika evropských vysokoteplotních zařízeních a byla testována i v podmínkách nízkoteplotního plazmatu, které se značně liší od podmínek ve vysokoteplotního plazmatu. Předchozí výsledky ukázaly, že ball-pen sonda by mohla být použitelná i v nízkoteplotním plazmatu. Přesto pro potvrzení použitelnosti ball-pen sondy bylo třeba dalších měření. Cílem této práce tak je srovnat metodu ball-pen sondy současně s měřením pomocí Langmuirovy a emisní sondy. Měření byla provedena ve stejnosměrném výboji v cylindrickém magnetronu pro různé výbojové podmínky a radiální polohy sond. Powered by TCPDF (www.tcpdf.org)
|
|
|
Měření potenciálu plazmatu pomocí ball-pen a Langmuirovy sondy
Zanáška, Michal ; Tichý, Milan (vedoucí práce) ; Hrachová, Věra (oponent)
Ball-pen sonda představuje novou unikátní sondu vyvinutou před několika lety na Ústavu fyziky plazmatu Akademie věd ČR za účelem přímého měření potenci- álu plazmatu na tokamaku CASTOR. Nyní je již úspěšně používána na několika dalších evropských vysokoteplotních zařízeních. V posledních letech se usiluje o využívání ball-pen sondy také v podmínkách, pro které nebyla původně ur- čena. Cílem této bakalářské práce je experimentálně prokázat, že ball-pen sonda je vhodná pro přímé měření potenciálu plazmatu také v nízkoteplotním slabě zmagnetizovaném stejnosměrném výboji v cylindrickém magnetronu, a to prove- dením současného srovnávacího měření pomocí Langmuirovy sondy. 1
|
host ::
RSS.