Název: Laser-induced surface acoustic waves for thin film characterization
Autoři: Kudělka, R. ; Václavek, L. ; Tomáštík, Jan ; Malecová, S. ; Čtvrtlík, R.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Conference on Local Mechanical Properties /14./, Prague (CZ), 20191106
Rok: 2020
Jazyk: eng
Abstrakt: Knowledge of mechanical properties of thin films is essential for most of their applications.However, their determination can be problematic for very thin films. LAW (Laser-induced acousticwaves) is a combined acousto-optic method capable of measuring films with thickness from fewnanometers. It utilizes ultrasound surface waves which are excited via short laser pulses and detectedby a PVDF foil. Properties such as Young’s modulus, Poisson’s ratio and density of both the film andthe substrate as well as film thickness can be explored.Results from the LAW method are successfullycompared with nanoindentation for Young’s modulus evaluation and with optical method for filmthickness evaluation and also with literature data. Application of LAW for anisotropy mapping ofmaterials with cubic crystallographic lattice is also demonstrated
Klíčová slova: anisotropy; laser-induced surface acoustic waves; nanoindentation; thin films; Young’s modulus
Zdrojový dokument: Acta Polytechnica CTU Proceedings, ISBN 978-80-01-06735-2, ISSN 2336-5382

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0315395

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-432682


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference