Original title: SMV-2018-03: Optimalizace přípravy difraktivních optických struktur
Translated title: SMV-2018-03: Optimization of difractive optical elements fabrication
Authors: Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Document type: Research reports
Year: 2018
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Výzkum a vývoj v oblasti přípravy difraktivních optických elementů pomocí elektronové litografie s ohledem na možnosti kopírování jednotlivých typů struktur. Projekt se soustředí na optimalizaci datové přípravy difraktivních mřížek s různými tvary profilů. Různé typy mřížek jsou přípraveny pomocí elektronové litografie a budou použity jako srovnávací standard pro následně vyrobené kopie pomocí galvanického pokovování a lisování do fólie. Připravené struktury jsou analyzovány na mikroskopu atomárních sil a elektronovém rastrovacím mikroskopu. Research and development in the field of diffractive optical elements fabrication by the way of e-beam lithography with respect to replication possibilities of various types of structures. Project deals with data preparation optimization for diffractive gratings with various profile’s shape. Various types of diffractive gratings are prepared by e-beam lithography. They will serve as a metric standard for replicas prepared by electroforming and foil stamping. Prepared samples are analyzed by atomic force microscope and scanning electron microscope.
Keywords: atomic force microscopy; diffractive optical element; e-beam lithography; scanning electron microscopy

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0290378

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-390674


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Reports > Research reports