Název: SMV-2018-03: Optimalizace přípravy difraktivních optických struktur
Překlad názvu: SMV-2018-03: Optimization of difractive optical elements fabrication
Autoři: Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2018
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Výzkum a vývoj v oblasti přípravy difraktivních optických elementů pomocí elektronové litografie s ohledem na možnosti kopírování jednotlivých typů struktur. Projekt se soustředí na optimalizaci datové přípravy difraktivních mřížek s různými tvary profilů. Různé typy mřížek jsou přípraveny pomocí elektronové litografie a budou použity jako srovnávací standard pro následně vyrobené kopie pomocí galvanického pokovování a lisování do fólie. Připravené struktury jsou analyzovány na mikroskopu atomárních sil a elektronovém rastrovacím mikroskopu. Research and development in the field of diffractive optical elements fabrication by the way of e-beam lithography with respect to replication possibilities of various types of structures. Project deals with data preparation optimization for diffractive gratings with various profile’s shape. Various types of diffractive gratings are prepared by e-beam lithography. They will serve as a metric standard for replicas prepared by electroforming and foil stamping. Prepared samples are analyzed by atomic force microscope and scanning electron microscope.
Klíčová slova: atomic force microscopy; diffractive optical element; e-beam lithography; scanning electron microscopy

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0290378

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-390674


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy