Original title: Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán
Translated title: Interferometrical system for bulge test thin film characterization
Authors: Pikálek, Tomáš ; Holzer, Jakub ; Tinoco, H.A. ; Buchta, Zdeněk ; Lazar, Josef ; Chlupová, Alice ; Náhlík, Luboš ; Sobota, Jaroslav ; Fořt, Tomáš ; Kruml, Tomáš
Document type: Papers
Conference/Event: LASER57, Třešť (CZ), 20171108
Year: 2017
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev se mohou výrazně lišit od běžných materiálů. Příkladem metody pro jejich měření je například nanoindentace založená na zatlačování miniaturního hrotu do materiálu. Jinou metodou je tzv. bulge test, který je založen na určení mechanických vlastností (obvykle Youngova modulu a reziduálního napětí) samonosných tenkých vrstev (membrán) z jejich deformace při aplikování diferenčního tlaku z jedné jejich strany. Pro měření tvaru membrán během tohoto bulge testu byl vyvinut interferometrický systém. Behavior of thin film materials undergoing stress and deformation differs from bulk materials. A common method for the mechanical characterization of thin films is nanoindentation based on indenting a small tip into the material. A different approach is a bulge test technique. In this method, a differential pressure is applied on a free-standing membrane and the mechanical properties (Young’s modulus and residual stress) are calculated from the shape of the bulged membrane. In our experiments, we developed an interferometrical system for the membrane shape measurement during the bulge test.
Keywords: interferometry; thin layers
Project no.: ED0017/01/01, LO1212 (CEP)
Funding provider: GA MŠk, GA MŠk
Host item entry: Sborník příspěvků multioborové konference LASER57, ISBN 978-80-87441-21-3

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0278470

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-370672


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers