Název: Interferometrický systém pro měření deformace tenkých membrán
Překlad názvu: Interferometrical system for bulge test thin film characterization
Autoři: Pikálek, Tomáš ; Holzer, Jakub ; Tinoco, H.A. ; Buchta, Zdeněk ; Lazar, Josef ; Chlupová, Alice ; Náhlík, Luboš ; Sobota, Jaroslav ; Fořt, Tomáš ; Kruml, Tomáš
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: LASER57, Třešť (CZ), 20171108
Rok: 2017
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Mechanické vlastnosti tenkých vrstev se mohou výrazně lišit od běžných materiálů. Příkladem metody pro jejich měření je například nanoindentace založená na zatlačování miniaturního hrotu do materiálu. Jinou metodou je tzv. bulge test, který je založen na určení mechanických vlastností (obvykle Youngova modulu a reziduálního napětí) samonosných tenkých vrstev (membrán) z jejich deformace při aplikování diferenčního tlaku z jedné jejich strany. Pro měření tvaru membrán během tohoto bulge testu byl vyvinut interferometrický systém. Behavior of thin film materials undergoing stress and deformation differs from bulk materials. A common method for the mechanical characterization of thin films is nanoindentation based on indenting a small tip into the material. A different approach is a bulge test technique. In this method, a differential pressure is applied on a free-standing membrane and the mechanical properties (Young’s modulus and residual stress) are calculated from the shape of the bulged membrane. In our experiments, we developed an interferometrical system for the membrane shape measurement during the bulge test.
Klíčová slova: interferometry; thin layers
Číslo projektu: ED0017/01/01, LO1212 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: Sborník příspěvků multioborové konference LASER57, ISBN 978-80-87441-21-3

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0278470

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-370672


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference