|
|
Porovnání mikroskopických diagnostických metod
Veselý, Jakub ; Tihlaříková, Eva (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá popisem a porovnáním diagnostických metod transmisní elektronové mikroskopie, rastrovací elektronové mikroskopie a mikroskopie atomárních sil. V úvodu práce je uveden popis jednotlivých diagnostických metod. Následuje experimentální část zabývající se diagnostikou vzorku feritické chromové oceli metodami rastrovací elektronové mikroskopie, mikroskopie atomárních sil, transmisní elektronové mikroskopie a vyhodnocením a interpretací naměřených výsledků. V závěru práce je uvedeno srovnání, výhody a nevýhody použitých diagnostických metod.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
|
|
|
Metodika stanovení velikosti detekovaného signálu v EREM
Potoma, Jaroslav ; Jirák, Josef (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Předkládaná práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM) a detekcí signálních elektronů pomocí ionizačního detektoru.Hlavní náplní této práce je porovnání osciloskopické metody stanovení velikosti signálu s metodou vyhodnocování velikosti signálu z úrovně šedi ze snímků standartních vzorků. Vyhodnocení výhod a nevýhod obou metod.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Čudek, Pavel ; Kadlec, Jaromír (oponent) ; Rek, Antonín (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v elektrodovém systému detektoru, pohybu elektronů v těchto polích a simulace rozložení tlaků a proudění plynů v jednotlivých částech detektoru. Na základě provedených simulací byly postupně realizovány konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost jednotlivých verzí detektoru byla určena v práci popsanou metodou vyhodnocování velikosti signálu z pořízených snímků, kvalita snímků byla stanovena z poměru signálu k šumu. V práci je popsán celý postup při úpravách detektoru, od počátečního stavu, kdy detektor pracoval v rozsahu tlaku 300 – 900 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu s nižší účinností, až po finální verzi detektoru umožňující jeho použití v rozmezí tlaků menších než 10-1 Pa do 1000 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Kozelský, Adam ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak zpětně odražené a sekundární elektrony. Další kapitoly se zabývají historickým vývojem elektronové mikroskopie a environmentální elektronovou mikroskopii. Praktická část se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů scintilačním detektorem v rastrovacím elektronovém mikroskopu pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku. Konkrétně optimalizaci napětí na sběrné mřížce a proměření tlakových závislostí.
|
|
|
Polovodičové struktury, metoda nábojového sběru
Golda, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Špinka, Jiří (vedoucí práce)
Práce pojednává o studiu struktur polovodivého křemíku. Popisuje vlastnosti tohoto prvku a vytvoření polovodiče typu P a N, dále se zabývá typy poruch krystalické mřížky. Zabývá se popisem metod sledování poruch v polovodiči, stanovení vlastností polovodičů tj. metodou EBIC, EBIV a CC, které jsou využívány k analýze polovodičových součástek a materiálů. Zjišťování vlastností křemíkových součástek probíhá pomoci generace nosičů náboje ve vzorku, vloženého do komory rastrovacího elektronového mikroskopu dopadajícími vyskoenergiovými elektrony a následným sběrem naindukovaného náboje na PN přechodu. Pomocí dat získaných metodou EBIC a CC byly vyhodnoceny difúzní délka a doba života elektronů.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP SEM
Račanský, David ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
V první části této práce je uvedeno teoretické seznámení se základy rastrovací elektronové mikroskopie, pracující v oblastí vyšších tlaků, neboli VP SEM, včetně detekce sekundárních elektronů (SE) s využitím scintilačního detektoru. Praktická část je zaměřena na predikci, proměření a následném stanovení optimálního nastavení pracovních podmínek ve vakuovém systému elektrod scintilačního detektoru (SD), s důrazem na konfigurační nastavení průměrů otvorů v clonkách C1 a C2. Druhým úkolem bylo ověřit vliv změny pracovní vzdálenosti mezi vzorkem a detektorem a následně doporučit optimální nastavení pro další práci.
|
|
|
Kontrast v obraze získaném pomocí ionizačního detektoru ve VP SEM
Goroš, Pavel ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá problematikou zkoumání látek elektronovým paprskem. Zaměřuje se na zkoumání látek pomocí metody environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (ESEM) a popisuje její zákonitosti. Přednosti ESEM vynikají především při studii nevodivých nebo vodu obsahujících, často biologických vzorků. Tyto vzorky nemusejí být, na rozdíl od klasického rastrovacího elektronového mikroskopu, nijak preparovány či fixovány a díky tomu je studována jejich přirozená povrchová struktura bez poškození vyschnutím. Základním zaměřením práce je stanovení kontrastu v obraze získaném pomocí ionizačního detektoru.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Čudek, Pavel ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce se zabývá úpravou a stavbou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro enviromentální rastrovací elektronový mikroskop. Popisuje problematiku rastrovací enviromentální elektronové mikroskopie, typy detektorů a detekci sekundárních elektronů. Obsahem praktické části je návrh a stavba nového scintilačního detektoru na základě simulací drah sekundárních elektronů. U realizovaného detektoru pak proměření jeho parametrů, proměření tlakových závislostí a optimalizace elektrodového systému.
|
host ::
RSS.