Název: Scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP SEM
Překlad názvu: Scintillation SE detector for VP SEM
Autoři: Račanský, David ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2011
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
V první části této práce je uvedeno teoretické seznámení se základy rastrovací elektronové mikroskopie, pracující v oblastí vyšších tlaků, neboli VP SEM, včetně detekce sekundárních elektronů (SE) s využitím scintilačního detektoru. Praktická část je zaměřena na predikci, proměření a následném stanovení optimálního nastavení pracovních podmínek ve vakuovém systému elektrod scintilačního detektoru (SD), s důrazem na konfigurační nastavení průměrů otvorů v clonkách C1 a C2. Druhým úkolem bylo ověřit vliv změny pracovní vzdálenosti mezi vzorkem a detektorem a následně doporučit optimální nastavení pro další práci. First part of this thesis is a theoretical essay which deals with the basics of the variable pressure scanning electron microscope, includes detection of secondary electrons with a view to a scintillation detector. The first applied part of the thesis is focused on prediction, measuring and setting-up optional working parley in vacuum electrodes scintillation detector system, with a stress small diameter hole in screenings C1 and C2. Second applied part was verify a change of working distance between sample and detector in consequence to optional solution for another work.
Klíčová slova: Everhart-Thornley detektor; ionizační detektor.; primární elektrony (PE); Rastrovací elektronový mikroskop pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku; scintilační detektor SE pro VP SEM; sekundární elektrony (SE); zpětně odražené elektrony (BSE); primary electron beam (PE); scintillation detector (SD); secondary electrons (SE).; Various pressure scanning electron microscope VP SEM

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/8165

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-219370


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce