|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů s řízeným prouděním plynů pro EREM
Kozák, Josef ; Neděla, Vilém (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá návrhem a optimalizací konstrukce experimentálního scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop a popisem principu činnosti uvedeného detektoru. Experiment vychází ze simulací proudění plynu ve vnitřních částech detektoru a simulací drah sekundárních elektronů v elektrostatických polích detektoru. Na základě těchto simulací jsou provedeny návrhy nových konstrukčních řešení detektoru. Pro navržené konstrukce jsou opětovně realizovány simulace proudění plynu a drah elektronů. Z navržených konstrukcí detektoru jsou vybrány takové, které se jeví být vhodné pro detekci sekundárních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro VP SEM
Račanský, David ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
V první části této práce je uvedeno teoretické seznámení se základy rastrovací elektronové mikroskopie, pracující v oblastí vyšších tlaků, neboli VP SEM, včetně detekce sekundárních elektronů (SE) s využitím scintilačního detektoru. Praktická část je zaměřena na predikci, proměření a následném stanovení optimálního nastavení pracovních podmínek ve vakuovém systému elektrod scintilačního detektoru (SD), s důrazem na konfigurační nastavení průměrů otvorů v clonkách C1 a C2. Druhým úkolem bylo ověřit vliv změny pracovní vzdálenosti mezi vzorkem a detektorem a následně doporučit optimální nastavení pro další práci.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Odehnal, Adam ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena nejrozšířenější metoda detekce sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Další kapitoly se věnují jednomu z posledních vývojových stádií rastrovací elektronové mikroskopie, a to environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Praktická část se zabývá vyhodnocováním závislostí velikosti signálu detekovaného scintilačním detektorem na tlaku vodních par v komoře vzorku. Je zde posuzována vhodná velikost napětí přiložených na elektrody scintilačního detektoru pro optimalizování detekce.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Kozelský, Adam ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak zpětně odražené a sekundární elektrony. Další kapitoly se zabývají historickým vývojem elektronové mikroskopie a environmentální elektronovou mikroskopii. Praktická část se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů scintilačním detektorem v rastrovacím elektronovém mikroskopu pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku. Konkrétně optimalizaci napětí na sběrné mřížce a proměření tlakových závislostí.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
|
|
|
Ionizační detektor pro EREM
Černoch, David ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá vlivem vkládané mřížky mezi vzorek a ionizační detektor v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Při změnách tlaku, napětí na mřížce při různých vzdálenostech vzorek detektor a vzorek mřížka je měřena velikost relativní úrovně signálu. Vliv přídavné mřížky na detekovaný signál je simulován programem pro realné podmínky používaného ionizačního detektoru.
|
|
|
Metodika stanovení velikosti detekovaného signálu v environmentálním SEM
Kršňák, Jiří ; Tihlaříková, Eva (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Předkládaná práce se zabývá vyhodnocováním detekce velikosti signálu z připraveného vzorku v environmentálním SEM. V práci bylo provedeno porovnání osciloskopické metody stanovení velikosti signálu v environmentálním SEM, metody vyhodnocování velikosti signálu z úrovně šedi ze snímků vzorků a metody měření velikosti signálu pomocí osciloskopu. V práci jsou popsány výhody a nevýhody metod a postup při zpracování těchto metod.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Odehnal, Adam ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce obsahuje teoretické poznatky z oblasti rastrovací elektronové mikroskopie. Je popsána konstrukce, princip činnosti a signály vzniklé interakcemi mezi svazkem primárních elektronů a vzorkem. Dále je vysvětlena nejrozšířenější metoda detekce sekundárních elektronů pomocí scintilačního detektoru. Další kapitoly se věnují jednomu z posledních vývojových stádií rastrovací elektronové mikroskopie, a to environmentální rastrovací elektronovou mikroskopií. Praktická část se zabývá vyhodnocováním závislostí velikosti signálu detekovaného scintilačním detektorem na tlaku vodních par v komoře vzorku. Je zde posuzována vhodná velikost napětí přiložených na elektrody scintilačního detektoru pro optimalizování detekce.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
|
|
|
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
|
host ::
RSS.