|
|
Fast simulation of ToF spectrometers
Oral, Martin
A fast simulation method was developed for analysis of time-of-flight spectrometers and it has been successfully used to optimize parameters of a real instrument. In the general case, the function of a time-of-flight spectrometer is best modeled using the Monte Carlo method, That involves calculation of a high number of ion trajectories, which is time consuming. We have found a way to reduce the calculation time greatly by introducing a simplification and using pre-computed data independent on the ion mass and charge. The procedure makes it computationally feasible to run iterative optimizations. By comparing the results with those of a realistic simulation on a selected case, we have verified that there is no noticeable influence on the results.
|
|
|
Ray tracing, aberration coefficients and intensity distribution
Oral, Martin
In particle optics paraxial ray tracing (solution of the paraxial trajectory equation) provides the basic imaging properties of an optical system and real ray tracing (solution of the equation of motion with time as the parameter) gives the complete particle paths including all aberrations. While there are methods of computing the aberration coefficients directly, for example by evaluating the aberration integrals, ray tracing can also be used for this purpose.
|
|
|
Programy pro elektronově optický návrh
Lencová, Bohumila ; Oral, Martin
Článek podává stručný přehled výpočetních metod používaných v ÚPT AV ČR pro návrh elektronově optických zařízení. Nové možnosti programového vybavení jsou pak ilustrovány na výpočtech rozložení proudu v rastrovacím elektronovém mikroskopu s nízkou energií a Wienovým filtrem.
|
|
|
Určení přesných trajektorií nabitých částic a vad soustav v částicové optice
Oral, Martin
Článek popisuje postup výpočtu aberačních koeficientů regresí. Podmínkou k výpočtu je dostupnost analytického vyjádření optických vad, které se vyžívá nejen při samotné regresi, ale i následně pro rychlý výpočet poloh částic za optickým systémem, například pro získání profilů svazků. Metoda je ilustrována na výpočtu proudové hustoty ve vychýleném svazku iontů.
|
|
|
Určení přesných trajektorií nabitých částic a vad soustav v částicové optice
Oral, Martin
Práce se má zabývat návrhem dostatečně efektivní metody výpočtu trajektorií v časticově-optických systémech, a to v obecných případech neseřízených optických soustav (s tzv. vadami seřízení). V současné době je vyvinut postup výpočtu v soustavách bez těchto vad seřízení pomocí geometrické aberační teorie 3. řádu a chromatické 1. řádu, přičemž je principiálně možné využít aberačních teorií vyšších řádů (k dosažení vyšší přesnosti). Do výpočtů je tedy třeba ještě zahrnout "neseřízení" optické soustavy. Vedlejším projektem je výpočet profilů svazků částic po zpracování optickou soustavou, ve kterém se využívá výsledků práce na hlavním tématu.
|
|
|
Calculation of the beam profile
Oral, Martin
The beam profile provides local current density distribution of a particle beam. From the known distribution we can optimize the axial position of the specimen in a SEM, understand image aberrations or find optimum function of electron or ion analyzers. Graphical plot of the profile as a function of the z coordinate shows what is happening with the beam when it passes through the optical system. The first attempts of graphical presentationof the beam aberrations and profiles based on aberration theory are discussed in the recent diploma thesis.
|
|
|
Dimension measurement in a cathode lens equipped low-energy SEM
Hutař, Otakar ; Oral, Martin ; Müllerová, Ilona ; Frank, Luděk
The paper deals with calibration of magnification in a cathode lens equipped SEM, which provides a high resolution in the energy range below 2000 eV, where both the charging-up and edge effect phenomena, complicating the measurement of dimensions, are suppressed. An analytical expression for the image magnification, in the dependence on the electron impact energy and the working distance, is derived and verified with respect to the measured values. Finally, a procedure suitable for the routine calibration is proposed.
|
|
| |
|
| |
|
|
Výpočet proudové hustoty svazků nabitých částic
Oral, Martin
Byla vyvinuta metoda a program pro výpočet proudové hustoty svazků. Simuluje chod svazku nabitých částic optickou soustavou. Protože vyžaduje data poloh velkého počtu (řádově miliard) částic na daném terči, jsou použity analytické výrazy pro paraxiální polohu a optické vady, které jsou vyčíslovány velmi rychle (milióny částic za sekundu). Trasování částic je pro tento účel pomalé (do sta částic za sekundu). Přesnost analytických výrazů je srovnatelná s trasováním v určitém prostoru v okolí optické osy
|
host ::
RSS.