Název: Programs for Electron Optical Design
Překlad názvu: Programy pro elektronově optický návrh
Autoři: Lencová, Bohumila ; Oral, Martin
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /10./, Skalský dvůr (CZ), 2006-05-22 / 2006-05-26
Rok: 2006
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
The paper gives a brief overview of computational method used in the Institute of Scientific Instruments of AS CR for the design of electron optical devices. New possibilities of the software are then illustrated on the computations of spot profile in a scanning electron microscope with low energy and Wien filter. Článek podává stručný přehled výpočetních metod používaných v ÚPT AV ČR pro návrh elektronově optických zařízení. Nové možnosti programového vybavení jsou pak ilustrovány na výpočtech rozložení proudu v rastrovacím elektronovém mikroskopu s nízkou energií a Wienovým filtrem.
Klíčová slova: computation of spot profiles; optics of charged particles; scanning electron microscope design; Wien filter
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP)
Zdrojový dokument: Proceedings of the 10th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 80-239-6285-X

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0139511

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-36245


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference