Název: Calculation of the beam profile
Autoři: Oral, Martin
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent trends in charged particle optics and surface physics instrumentation, Skalský dvůr (CZ), 2002-07-08 / 2002-07-12
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: The beam profile provides local current density distribution of a particle beam. From the known distribution we can optimize the axial position of the specimen in a SEM, understand image aberrations or find optimum function of electron or ion analyzers. Graphical plot of the profile as a function of the z coordinate shows what is happening with the beam when it passes through the optical system. The first attempts of graphical presentationof the beam aberrations and profiles based on aberration theory are discussed in the recent diploma thesis.
Klíčová slova: aberration theory; beam aberrations; particle beam
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Zdrojový dokument: Proceedings of the 8.sup.th./sup. international seminar, held in Skalský dvůr, ISBN 80-238-8986-9

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101115

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29548


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference