Název: Dimension measurement in a cathode lens equipped low-energy SEM
Autoři: Hutař, Otakar ; Oral, Martin ; Müllerová, Ilona ; Frank, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: EUREM /12./ - European Congress on Electron Microscopy, Brno (CZ), 2000-07-09 / 2000-07-14
Rok: 2000
Jazyk: eng
Abstrakt: The paper deals with calibration of magnification in a cathode lens equipped SEM, which provides a high resolution in the energy range below 2000 eV, where both the charging-up and edge effect phenomena, complicating the measurement of dimensions, are suppressed. An analytical expression for the image magnification, in the dependence on the electron impact energy and the working distance, is derived and verified with respect to the measured values. Finally, a procedure suitable for the routine calibration is proposed.
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IBS2065017 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 12th European Congress on Electron Microscopy, ISBN 80-238-5503-4
Poznámka: Související webová stránka: mailto:ota@isibrno.cz

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0100857

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29459


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference