|
|
Surface and Mechanical Properties of Thin Films
Pálesch, Erik ; Klapetek, Petr (oponent) ; Skuhurov,, Andrey (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
The doctoral thesis deals with the study of morphology and mechanical properties of thin plasma polymer films based on tetravinylsilane monomer and its mixtures with oxygen and argon. Thin films were prepared by plasma-enhanced chemical vapour deposition on silicon and glass substrates. Atomic force microscopy was used for characterization of thin film surface and for depiction of composite interphase with functional interlayer. Mechanical properties of thin films, namely Young’s modulus and hardness, were studied by cyclic nanoindentation technique. Nanoindentation device was also used to carry out scratch test, which was helpful to describe adhesion of films to substrate. In this thesis the influence of deposition conditions on surface and mechanical properties of thin films prepared in continual and pulse wave on planar substrates is discussed. Also, the suitability of few atomic force microscopy techniques for depiction of composite interphase was reviewed.
|
|
|
Depozice Al a AlN ultratenkých vrstev na křemíkový a grafenový substrát
Řihák, Radek ; Čech, Vladimír (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá přípravou a analýzou ultratenkých vrstev hliníku a nitridu hliníku. Vrstvy byly připraveny depozicí z efuzních cel navržených v rámci předchozí bakalářské práce autora. Jejich konstrukce a testování je v práci rovněž zahrnuta. Experimentálně byly zkoumány vlastnosti hliníkových vrstev na nativním oxidu křemíku, křemíku a grafenu. Rovněž je zde popsána příprava nitridu hliníku pomocí dusíkového iontového zdroje.
|
|
|
Nízkoenergiový rozptyl iontů inertních plynů na zlatých strukturách
Joch, Vítězslav ; Čech, Vladimír (oponent) ; Průša, Stanislav (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá srovnáním experimentálních a simulovaných výsledků nízkoenergiového rozptylu iontů. Teoreticky popisuje principy nízkoenergiového rozptylu iontů a spektrometr na Ústavu fyzikálního inženýrství. Uvádí postup přípravy vzorků s použitím roztoku koloidního zlata. Charakterizuje depozici zlatých nanočástic. Objasňuje význam a použití časových a energiových spekter nízkoenergiového rozptylu. Zmiňuje také jev kanálování v křemíkovém substrátu.
|
|
|
Charakterizace 1-D nanostruktur metodami SPM
Škoda, David ; Čech, Vladimír (oponent) ; Pavlík, Jaroslav (oponent) ; Dub, Petr (vedoucí práce)
Dizertační práce je zaměřena na charakterizaci uhlíkových nanotrubic a stříbrných nanodrátu rastrovací sondovou mikroskopií -- rastrující tunelovou mikroskopií (STM), mikroskopií atomárních sil (AFM), vodivostní mikroskopií AFM (CAFM) a mikroskopií blízkého pole (SNOM). Uhlíkové nanotrubice byly analyzovány mikroskopiemi STM, AFM a CAFM. V navržené aparatuře byly připraveny stříbrné nanodráty depozicí do polykarbonátových membrán, analyzovány z hlediska geometrie (AFM), lokální vodivosti (CAFM) a optických vlastností (SNOM, mikroreflexní spektroskopie). Bylo zjištěno, že preferenční typ uhlíkových nanotrubic závisí na zpusobu jejich výroby. Vodivostní měření prokázala obdobnou citlivost na rozložení multivrstev nanotrubic jako u STM. Stříbrné nanodráty odpovídají svojí geometrií depozičním podmínkám (AFM), vykazují polovodičové chování (CAFM) a po osvětlení bílým světlem vyzakazují lokalizované plasmonové rezonance.
|
|
|
Příprava a optické vlastnosti tenkých vrstev a vrstevnatých struktur pomocí plazmochemické depozice
Kucharčík, Jan ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Diplomová práce je v teoretické části zaměřena na popis principu spektroskopické elipsometrie a tvorbu tenkých vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). V experimentální části je popsán depoziční systém, elipsometr a vyhodnocení změřených dat, materiály použité pro přípravu vzorků a průběh výroby vzorků. Byly připravovány jak jednoduché tak vícevrstvé struktury polymerních materiálů. Výsledky práce neprokázaly závislost optických vlastností materiálu na tloušťce vrstvy. Jsou zde popsány vlivy efektivního výkonu a depozičních směsí plynů na optické vlastnosti vrstev.
|
|
|
Depozice plazmových polymerů
Malá, Michaela ; Brablec, Antonín (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce je zaměřena na charakterizaci a přípravu tenkých polymerních vrstev plazmochemickou depozicí z plynné fáze na plošný substrát z křemíku. Hlavní součástí práce je literární rešerše z oblasti plazmové polymerace a metod charakterizace tenkých polymerních vrstev. V experimentální části byly připraveny tenké polymerní vrstvy z par monomeru tetravinylsilanu. Připravené tenké vrstvy byly charakterizovány mikroskopickými a spektroskopickými technikami. Stanovené fyzikální a chemické vlastnosti připravených struktur byly sledovány s ohledem na depoziční podmínky v nízkoteplotním plazmatu.
|
|
|
Adheze vrstev plazmových polymerů připravených z monomeru tetravinylsilanu
Plichta, Tomáš ; Salyk, Ota (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá charakterizací tenkých vrstev plazmových polymerů, připravených z monomeru tetravinylsilanu (TVS) a nanesených na plošné křemíkové substráty. Jako způsob přípravy tenkých vrstev byla použita metoda chemické depozice z plynné fáze (PE CVD). Byly připraveny tři výkonové série, a to z čistého TVS a dále TVS ve směsi s argonem a kyslíkem. Hlavními metodami charakterizace byly vrypová zkouška a mikroskopie atomárních sil (AFM), sloužící k posouzení míry adheze vrstev a topografie vrypů. Pro posouzení vlastností a souvislostí byla změřena tloušťka vrstev pomocí spektroskopické elipsometrie (ELL) a dále modul pružnosti pomocí nanoindentace. Ze získaných dat byla posouzena reprodukovatelnost výsledků s ohledem na čistotu substrátů a adheze vrstev v závislosti na depozičních podmínkách a stárnutí vrstev.
|
|
|
Application of oxygen atomic beams
Mikerásek, Vojtěch ; Čech, Vladimír (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce)
This diploma thesis describes the design, construction, and testing of a thermal atomic oxygen beam source for the growth of thin oxide layers under ultra-high vacuum conditions. The first chapter discusses the theory associated with thermal dissociation and atomic beam formation. Then, the main types of atomic oxygen beam sources and their applications are presented. The experimental part is devoted to the actual design, construction and assembly of the device. The last part describes the testing of the effect of atomic oxygen on the formation of oxide layers (stoichiometrically Ga2O3) on Ga nanodroplets prepared by molecular beam epitaxy on a Si substrate. The chemical composition and morphology of the prepared nanostructures are studied by XPS, SEM and TEM.
|
|
|
Possibilities of preparing nanoelectronic devices on graphene using AFM
Lipták, Daniel ; Čech, Vladimír (oponent) ; Bartošík, Miroslav (vedoucí práce)
In this master’s thesis, we focused on the study and preparation of nano-structures on graphene by local anodic oxidation. Our attention was put on the isolating capabilities of oxidized graphene, which was studied by surface electric potential mapping, using Kelvin probe force microscopy, with simultaneous transport measurement. The obtained results indicate the doubling of resistance by line interruption oxidation. Finally, nanoconstriction of micrometer dimensions was fabricated and studied under different relative humidities, in the range of 3% to 60%.
|
|
|
Organokřemičité plazma zkoumané hmotnostní spektrometrií
Moravanský, Martin ; Bránecký, Martin (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá plazmochemickou depozicí z plynné fáze (PECVD) a použitím hmotnostní spektrometrie ke sledování procesů v plazmatu během depozice tenké vrstvy. Při procesu tvorby tenké vrstvy nanášené na křemíkovou podložku byl použit elektrický výboj hořící v parách tetravinylsilanu. Bylo charakterizováno pozadí spektrometru, plazmového reaktoru se zbytkovými plyny při základním vakuu a monitorován proces plazmové polymerace. Tento děj byl monitorován za zvyšujícího se efektivního výkonu (2-150 W). Získaná hmotnostní spektra byla interpretována a podrobně popsána.
|
host ::
RSS.