Název: Příprava a optické vlastnosti tenkých vrstev a vrstevnatých struktur pomocí plazmochemické depozice
Překlad názvu: Deposition and optical properties of thin films and layered structures by PECVD
Autoři: Kucharčík, Jan ; Boušek, Jaroslav (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2014
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Diplomová práce je v teoretické části zaměřena na popis principu spektroskopické elipsometrie a tvorbu tenkých vrstev metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD). V experimentální části je popsán depoziční systém, elipsometr a vyhodnocení změřených dat, materiály použité pro přípravu vzorků a průběh výroby vzorků. Byly připravovány jak jednoduché tak vícevrstvé struktury polymerních materiálů. Výsledky práce neprokázaly závislost optických vlastností materiálu na tloušťce vrstvy. Jsou zde popsány vlivy efektivního výkonu a depozičních směsí plynů na optické vlastnosti vrstev. Thesis in theoretical part is focused on the principle of spectroscopic ellipsometry and formation of thin films by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). In the experimental part we describe the deposition system, ellipsometer and mathematical evaluation of ellipsometric data, materials used for film formation and processing of the samples. Single-layer and multilayer structures of polymeric materials were prepared. We revealed that the optical properties of thin films are independent of film thickness. We also described the effect of the effective power and deposition gas mixture on optical properties of thin films.
Klíčová slova: argon; kyslík.; plazmová polymerace; Spektroskopická elipsometrie; tenké vrstvy; tetravinylsilan; argon; oxygen.; plasma polymerization; Spectroscopic ellipsometry; tetravinylsilane; thin films

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/32574

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-544867


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce