|
| |
|
| |
|
|
Electrostatic assembly of alumina nanoparticles on nanocrystalline diamond films
Verveniotis, Elisseos ; Kromka, Alexander ; Rezek, Bohuslav
We apply atomic force microscope for local electrostatic charging of oxygen-terminated nanocrystalline diamond (NCD) thin films deposited on silicon, to induce electrostatically driven self-assembly of colloidal alumina nanoparticles into micro-patterns. The NCD films have sub-100 nm thickness and 60% relative sp2 phase content. We characterize charge contrast and stability in air, fluorocarbon oil and water by Kelvin force microscopy. We discuss factors influencing the charging process and demonstrate that the contrast of more than ± 1 V is needed to induce selfassembly of the nanoparticles via coulombic and polarization forces.
|
|
| |
|
| |
|
| |
|
|
Důležitost vlivu nukleační fáze na vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev připraveným metodou PECVD
Zajíčková, L. ; Karásková, M. ; Jašek, O. ; Buršíková, V. ; Franta, D. ; Matějková, Jiřina ; Klapetek, P.
Mikrokrystalické diamantové vrstvy našly značné uplatnění a to nejen díky své velké tvrdosti, ale také elektrickým a optickým vlastnostem. Jejich vysoká drsnost je však překážkou pro jejich uplatnění v dalších aplikacích jako je tribologie, autoemisní katody, optické vrstvy a Nano/Mikro mechanické systémy. Výrazným úspěchem v této oblasti bylo na počátku 90. let dosažení zmenšení jednotlivých krystalů na úroveň několika nanometrů. Proces depozice nanokrystalických vrstev však není dodnes zcela uspokojivě vysvětlen a vlastnosti vrstev se značně liší v závislosti na depozičních podmínkách. Proto se lze také pod pojmem nanokrystalický diamant setkat se širokou škálou vrstev se sloupcovitou strukturou se zrny 30 až 100 nm nebo kompaktními vrstvami velmi malých krystalů o velikosti 5- až 15 nm.
|
|
| |
|
|
Depozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX
Jašek, O. ; Karásková, M. ; Buršíková, V. ; Zajíčková, L. ; Franta, D. ; Frgala, Z. ; Matějková, Jiřina ; Rek, Antonín ; Klapetek, P. ; Buršík, Jiří
Nanokrystalické diamantové (NCD) vrstvy byly připraveny depozicí z plynné fáze (CVD) za nízkého tlaku v mikrovlnném plazmatu generovaném v reaktou typu ASTEX. Vrstvy byly připraveny na křemíkových substrátech s orientací (111) ze směsi metanu (9 procent) a vodíku při teplotě substrátu 1090 K. Dodávaný mikrovlnný výkon (2,45 GHz) byl 850 W a pracovní tlak činil 7,5 kPa. Pro účel nukleace byl substrát vystaven vysokofrekvenčnímu výboji, který vytvářel samopředpětí -125 V. Připravené vrstvy vykazovaly velmi malou drsnost (kvadratická odchylka výšek 9,1 nm) a tvrdost a elastický modul dosahovaly hodnot 70 a 375 GPa. Optické konstanty byly určeny pomocí elipsometrie a měření reflexe a vyhodnoceny na základě Rayleigh-Riceovi teorie a disperzního modelu založeného na parametrizaci hustoty stavů. Depoziční rychlost byla 57 nm/min a to včetně 5 minutové nukleační fáze.
|
|
| |
host ::
RSS.