|
| |
|
|
Depozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX
Jašek, O. ; Karásková, M. ; Buršíková, V. ; Zajíčková, L. ; Franta, D. ; Frgala, Z. ; Matějková, Jiřina ; Rek, Antonín ; Klapetek, P. ; Buršík, Jiří
Nanokrystalické diamantové (NCD) vrstvy byly připraveny depozicí z plynné fáze (CVD) za nízkého tlaku v mikrovlnném plazmatu generovaném v reaktou typu ASTEX. Vrstvy byly připraveny na křemíkových substrátech s orientací (111) ze směsi metanu (9 procent) a vodíku při teplotě substrátu 1090 K. Dodávaný mikrovlnný výkon (2,45 GHz) byl 850 W a pracovní tlak činil 7,5 kPa. Pro účel nukleace byl substrát vystaven vysokofrekvenčnímu výboji, který vytvářel samopředpětí -125 V. Připravené vrstvy vykazovaly velmi malou drsnost (kvadratická odchylka výšek 9,1 nm) a tvrdost a elastický modul dosahovaly hodnot 70 a 375 GPa. Optické konstanty byly určeny pomocí elipsometrie a měření reflexe a vyhodnoceny na základě Rayleigh-Riceovi teorie a disperzního modelu založeného na parametrizaci hustoty stavů. Depoziční rychlost byla 57 nm/min a to včetně 5 minutové nukleační fáze.
|
|
|
Studium mechanických vlastností supertvrdých nanostrukturních vrstev
Buršíková, V. ; Jašek, O. ; Frgala, Z. ; Karásková, M. ; Zajíčková, L. ; Buršík, Jiří ; Bláhová, O. ; Grančič, B. ; Mikula, M. ; Klapetek, P.
Studium mechanických vlastností supertvrdých nanostrukturních vrstev.
|
|
|
Použití mikrovlnného plazmatu pro syntézu alfa-Fe nanočástic
Hoder, T. ; Kudrle, V. ; Frgala, Z. ; Janča, J. ; David, Bohumil
Použili jsme dekompozici pentakarbonylu železa v mikrovlném plazmatu pro přípravu železných nanočástic. Páry pentakarbonylu železa byly přidány do argonového výboje v surfaguide. Byla změřena optická emisní spektra a spočítány rotační a vibrační teploty. Teploty byly určeny v závislosti na koncentraci pentakarbonylu železa a na axiální a radiální vzdálenosti. Získané nanočástice byly analyzovány pomocí RTG difrakce a TEM. Byly pozorovány nanočástice se strukturou jádro-slupka, kde alfa Fe fáze tvořila jádro a Fe(x)O(y) nebo C tvořily slupku částice.
|
|
|
Mechanické vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev
Buršíková, V. ; Frgala, Z. ; Jašek, O. ; Karásková, M. ; Zajíčková, L. ; Franta, D. ; Buršík, Jiří ; Klapetek, P. ; Bláhová, O. ; Matějková, Jiřina
Mechanické vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev.
|
|
|
Diamond growth on silicon and WC-Co by microwave plasma chemical vapor deposition
Frgala, Z. ; Kudrle, V. ; Janča, J. ; Buršíková, V. ; Vašina, P. ; Meško, M. ; Buršík, Jiří ; Kadlečíková, M. ; Klapetek, P.
We studied the growth of microcrystalline diamond films on pre-treated Si and WC-Co substrates by microwave plasma chemical vapor deposition.We observed the interesting time dependence of the negative bias voltage during nucleation stage which is useful for nucleation process monitoring. The layers were analysed by Raman spectroscopy, scanning electron microscopy and atomic force microscopy.
|
host ::
RSS.