Název: Study of mechanical properties of NCD coatings
Překlad názvu: Studium mechanických vlastností NCD vrstev
Autoři: Buršíková, V. ; Buršík, Jiří ; Karásková, M. ; Jašek, O. ; Zajíčková, L. ; Franta, D. ; Klapetek, P. ; Bláhová, O.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Coatings and Layers 2007, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2007-10-29 / 2007-10-30
Rok: 2007
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
The aim of the paper was to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness, high hardness and fracture toughness by microwave PECVD in the ASTEX type reactor from mixture of methane and hydrogen. Byly připraveny nanokompozitní diamantové vrstvy (NCD)pomocí mikrovlnné PECVD doplněné RF indukovaným stejnosměrným záporným předpětím (-125 V)v reaktoru typu ASTEX.
Klíčová slova: microwave PECVD; nanocrystalline diamond
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20410507 (CEP), GA202/05/0607 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Vrstvy a povlaky 2007

Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0152188

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-37903


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference