|
|
Kontaminace při výrobě polovodičů
Fojtášková, Helena ; Salyk, Ota (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá kontaminací ve výrobě polovodičových substrátů. Zaměřuje se na efektivitu a optimalizaci mokrých čistících procesů polovodičových desek z monokrystalického křemíku a karbidu křemíku. Součástí práce je literární rešerše z oblasti polovodičové výroby, kontaminace desek a jejich mytí. Mezi nejčastěji sledované kovové kontaminanty patří železo, měď a nikl, kvůli jejich vysoké míře difuzivity, a proto byly tyto prvky vybrány pro experimentální část. V experimentální části byly desky připraveny cílenou kontaminací pro ověření efektivity mycích lázní. Vyhodnocení kontaminace probíhalo pomocí metody rozkladu z plynné fáze v kombinaci s hmotnostní spektrometrií s indukčně vázaným plasmatem (VPD-ICP-MS) pro křemíkové desky a pomocí rentgenové fluorescence s totálním odrazem (TXRF) pro desky z karbidu křemíku. Na základě výsledků měření byla vyhodnocena efektivita mycích procesů a doporučen postup pro optimalizaci procesů.
|
|
|
Kontaminace při výrobě polovodičů
Fojtášková, Helena ; Salyk, Ota (oponent) ; Čech, Vladimír (vedoucí práce)
Tato bakalářská práce se zabývá kontaminací ve výrobě polovodičových substrátů. Zaměřuje se na efektivitu a optimalizaci mokrých čistících procesů polovodičových desek z monokrystalického křemíku a karbidu křemíku. Součástí práce je literární rešerše z oblasti polovodičové výroby, kontaminace desek a jejich mytí. Mezi nejčastěji sledované kovové kontaminanty patří železo, měď a nikl, kvůli jejich vysoké míře difuzivity, a proto byly tyto prvky vybrány pro experimentální část. V experimentální části byly desky připraveny cílenou kontaminací pro ověření efektivity mycích lázní. Vyhodnocení kontaminace probíhalo pomocí metody rozkladu z plynné fáze v kombinaci s hmotnostní spektrometrií s indukčně vázaným plasmatem (VPD-ICP-MS) pro křemíkové desky a pomocí rentgenové fluorescence s totálním odrazem (TXRF) pro desky z karbidu křemíku. Na základě výsledků měření byla vyhodnocena efektivita mycích procesů a doporučen postup pro optimalizaci procesů.
|
|
|
Lidové zvyky na Valašsku
Fojtášková, Helena ; Dvořáková, Markéta (vedoucí práce) ; Dvořáková, Michaela (oponent)
Diplomová práce je zaměřena na seznámení s regionem Valašsko - jeho historií, polohou, členěním a místními obyvateli. Cílem této práce bylo popsat udržování lidových tradic, rodinného a výročního zvykosloví v regionu v historii i v současnosti. Východiskem pro práci bylo studium regionální historické literatury a současný život lidí na Valašsku.
|
|
|
Lidové zvyky na Valašsku
Fojtášková, Helena ; Dvořáková, Markéta (vedoucí práce) ; Dvořáková, Michaela (oponent)
Diplomová práce je zaměřena na seznámení s regionem Valašsko - jeho historií, polohou, členěním a místními obyvateli. Cílem této práce bylo popsat udržování lidových tradic, rodinného a výročního zvykosloví v regionu v historii i v současnosti. Východiskem pro práci bylo studium regionální historické literatury a současný život lidí na Valašsku.
|
host ::
RSS.