|
| |
|
|
Proceedings of the 4th Czech-Japan-China Cooperative Symposium on Nanostructure of Advanced Materials and Nanotechnology (CJCS’09)
Pokorná, Zuzana ; Mika, Filip
ISI ASCR in Brno is primarily a methodological institute creating and developing new experimental methods for several areas of physics, chemistry and biomedicine. Among these, methodology of the scanning electron microscopy occupies an important position. One of long time projects concerns microscopy with very slow electrons, much slower than what was for decades, until quite recently, available at the market of microscopes. Demonstration of new instrumental methods needs to have good partners in application areas, willing to enter unknown territories. On this basis, the collaboration between the University of Toyama and ISI in Brno exists and flourishes, producing plenty of common results and success stories.
|
|
|
Profiling of N-Type Dopants in Silicon Based Structures
Hovorka, Miloš ; Mika, Filip ; Frank, Luděk ; Mikulík, P.
We have focused on variously doped n-type pattems on a lightly doped p-type substrate because of lack of data for these structures. We have designed and prepared planar structures of this kind at the university clean room. Combination of the UHV SEM and PEEM microscooes should facilitate possible quantifying of the the doping levels in the n-type areas and explanation of their contrast with respect to the p-type substrate. In addition to the SEM observations at very low energies (down to the units of eV), we performed the laterally resolved threshold and soft X-ray spectroscopies in a PEEM equipped with an energy filter.
|
|
| |
|
|
Současné trendy v elektronové optice a přístrojové technice pro povrchovou fyziku
Mika, Filip
Sborník semináře o současných trendech v elektronové optice a přístrojové technice pro povrchovou fyziku, který se uskutečnil ve dnech 14.–18. července 2008 v hotelu Skalský dvůr na Českomoravské vrchovině. Akci pravidelně pořádá oddělení Elektronové optiky Ústavu přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., a je tradiční příležitostí k setkávání vědců, kteří pracují v oblastech týkajících se vytváření a formování svazků nabitých částic a jejich využití.
|
|
| |
|
| |
|
| |
|
|
Dynamické chování kontrastu dopantů v LVSEM
Mika, Filip ; Frank, Luděk
Kontrast mezi rozdílně dopovanými oblastmi polovodiče může být pozorován v rastrovacím elektronové mikroskopu v signálu sekundárních elektronů. Na různě dopovaných vzorcích bylo studováno chování kontrastu v závislosti na dávce dopadajících elektronů, jejich energii a přítomnosti vrstvy nad povrchem polovodiče.
|
|
|
Detekční strategie pro sběr sekundárních elektronů v REM
Konvalina, Ivo ; Hovorka, Miloš ; Wandrol, Petr ; Mika, Filip ; Müllerová, Ilona
Sekundární elektrony (SE) jsou v rastrovacím elektronovém mikroskopu (REM) obvykle detekovány pomocí Everhartova-Thornleyho (ET) detektoru, jehož slabé elektrostatické pole přitahuje nízko energiové SE; takový systém nazveme standardní. Tento systém se používá více než 40 let. Moderní REM dosahují zlepšení obrazového rozlišení vlivem silného magnetického pole objektivové čočky, které proniká do oblasti vzorku (tzv. imerzní systém). V tomto případě se obvykle používají dva SE detektory: jeden umístěný pod objektivem (spodní detektor) a druhý se nachází uvnitř objektivu (horní detektor). Výsledný kontrast obrazu sekundárních elektronů stejného vzorku se mění s energiovou a úhlovou citlivostí detektoru, v závislosti na rozložení elektrostatického a magnetického pole v okolí vzorku. Studium sběrové účinnosti jednotlivých detektorů je nezbytné pro správnou interpretaci pozorovaného kontrastu.
|
host ::
RSS.