Název: Možnosti zobrazení dopovaných křemíkových struktur v PEEM a LVSEM
Překlad názvu: Imaging of doped silicon structures using PEEM and LVSEM
Autoři: Hovorka, Miloš ; Mika, Filip ; Frank, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Mikroskopie 2008, Nové Město na Moravě (CZ), 2008-02-07 / 2008-02-08
Rok: 2008
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Studium dotovaných křemíkových struktur s využitím fotoemisní mikroskopie a nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopie. Study of doped silicon structures using photoemission electron microscopy and low-voltage scanning electron microscopy.
Klíčová slova: dopants; PEEM; SEM; silicon
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP)
Zdrojový dokument: Mikroskopie 2008, ISBN N

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0160916

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-38795


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference