|
|
SMV-2017-01: Reliéfní struktury na principu difraktivní optiky
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Výzkum a vývoj v oblasti fyzikální realizace grafických a optických struktur na principu difraktivní optiky prostředky elektronové litografie v záznamovém materiálu neseném křemíkovou nebo skleněnou deskou. Výzkum zahrnuje analýzu grafického resp. optického motivu, výzkum a aplikaci reliéfních struktur realizujících požadované grafické resp. optické vlastnosti, výzkum a modelování možností fyzikální realizace reliéfních struktur, vypracování a analýzu technologie realizace reliéfní struktury s ohledem na limity současných vědeckých přístrojů, ověření teoretických úvah expozicí vzorku reliéfní struktury.
|
|
|
SMV-2017-03: Planární mikrostruktury pro optické aplikace
Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Krátký, Stanislav ; Chlumská, Jana ; Meluzín, Petr ; Král, Stanislav
Vývoj planárních mikrostruktur pro optické aplikace a následná realizace vzorků metodou elektronové litografie. Projekt zahrnuje zpracování a analýzu technického zadání, návrh optimální planární mikrostruktury realizující požadované optické vlastnosti, výzkum a modelování možností fyzikální a technologické realizace mikrostruktur s ohledem na limity vědeckých přístrojů, kterými disponujeme ve své laboratoři, přípravu datových vstupů pro expozici na elektronovém litografu, vlastní realizaci vzorků, vyhodnocení těchto vzorků a zpracování technické dokumentace.
|
|
|
Blaze Gratings with a Ribbed Back Slope
Krátký, Stanislav ; Meluzín, Petr ; Horáček, Miroslav ; Kolařík, Vladimír ; Matějka, Milan ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav
Binary relief phase-modulated gratings provide symmetrical diffraction of the incoming light beam. Asymmetrical gratings, e.g. asymmetrical triangular blazed gratings, are characteristic by an asymmetrical diffraction behavior, where one of the first diffraction orders is more important than the other one. Electron beam lithography is a suitable and flexible tool for patterning of such kind of gratings. High quality results can be readily obtained when the period of the grating is relatively large and the relief depth is relatively low, this is the case of gratings with a small blaze angle. As the blaze angle increases, the quality of result suffers from several patterning-related issues. One of the problems is a reflection of the incoming light beam from the back slope (anti-blaze facet) of the blaze grating. We propose a novel configuration, with a ribbed modulation of the back slope. This modulation is perpendicular to the direction of the grating grooves. This paper presents an analysis of the proposed blazed grating configuration. E-beam pattern generators were used to prepare a few\nsamples of blaze gratings with a ribbed back slope. One part of the experiment was performed with a Gaussianshaped beam and another one with the variable-shaped beam. Results of the experiment are presented.\nFinally, we discuss the optical performance of two blaze gratings with similar parameters, one of them is with the flat back slope and another one is with the ribbed back slope.
|
|
|
Parameter Optimization of Multi-Level Diffraction Gratings
Matějka, Milan ; Kolařík, Vladimír ; Horáček, Miroslav ; Král, Stanislav
Originally, the e-beam lithography (EBL) is a technique for creating high-resolution black and white masks for the optical lithography. Multi-level relief structures can be also prepared using EBL patterning. Their preparation is based on the image patterning with a gradient of exposure doses. Large-area multi-level structures can be effectively prepared using the electron beam pattern generator with a variable shaped beam. We present several writing strategies. Basically, the main writing strategy uses one stamp (i.e. one elementary exposure of the shaped electron beam) per one elementary area with the same exposure dose. This simple approach is fast and flexible, however it does not guarantee optimal results. The main problem is an imperfection of the stamps (size, shape, and homogeneity). Advanced algorithms are based on multiple\nexposure of the same elementary area, the total local exposure dose is a sum of several different elementary exposures (stamps). Using these algorithms, a smoother surface of the structure can be achieved. On the other hand, the writing speed is considerably decreased. Tradeoff between the achieved parameters and the writing speed is discussed for selected set of writing strategy algorithms.
|
|
|
SMV-2016-03: Přesné reliéfní struktury
Matějka, Milan ; Horáček, Miroslav ; Meluzín, Petr ; Chlumská, Jana ; Král, Stanislav ; Kolařík, Vladimír ; Krátký, Stanislav ; Fořt, Tomáš ; Oulehla, Jindřich ; Šerý, Mojmír
Vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur pomocí elektronové litografie a dalších ultra precizních mikrovýrobních technik.
|
|
| |
|
| |
|
| |
|
|
Návrh metodiky pro volbu základních komponent lineárních os obráběcího stroje
Král, Stanislav ; Dosedla, Michal (oponent) ; Holub, Michal (vedoucí práce)
Cílem diplomové práce, je na základě zadaných parametrů polohovací jednotky, mezi které patří pracovní zdvih (1m, 2m, 4m), zatížení (5kg, 50kg, 500kg), přesnost najetí do polohy (0,04mm) a dynamika (max. dosažitelná rychlost 1,5m/s), sestavit návrhy s kuličkovým šroubem, lineárním motorem, ozubeným řemenem a ozubeným hřebenem. Pro vybrané varianty polohovací jednotky navrhnout 3D model polohovací jednotky. Navržené varianty porovnat a definovat jejich výhody/nevýhody, technicko-ekonomické porovnání, limitní hodnoty jednotlivých konstrukčních řešení atd. Práce obsahuje rešerši pohonů v oblasti polohovacích jednotek, návrh jednotky s ozubeným řemenem, ozubeným hřebenem, kuličkovým šroubem, lineárním pohonem, výpočtovou zprávu jednotlivých návrhů dále pak 3D návrh variant pro kuličkový šroub a lineární motor včetně výkresů sestavy a výrobních výkresů
|
|
|
Pístní skupina řadového čtyřválcového zážehového motoru
Král, Stanislav ; Novotný, Pavel (oponent) ; Píštěk, Václav (vedoucí práce)
Cílem bakalářské práce, je pevnostní kontrola pístní skupiny řadového čtyřválcového zážehového motoru. V první části pro zadané termodynamické, geometrické a provozní parametry pístní skupiny uvedeného motoru provedeme výpočet termodynamického cyklu. Dále zjistíme silové účinky působící na pístní skupinu v nejvíce namáhaných okamžicích cyklu. Pro takto zjištěné zatížení pístní skupiny provedeme kontrolu napětí v pístním čepu a pevnostní kontrolu oka ojnice. V závěru porovnáme vypočtené hodnoty napětí s dovolenými hodnotami a zjistíme návrhový koeficient bezpečnosti pro danou součást.
|
host ::
RSS.