Original title:
Pokročilé metody laserové interferometrie a aplikace pro přesnou délkovou metrologii
Authors:
Řeřucha, Šimon ; Číp, Ondřej ; Holá, Miroslava ; Lazar, Josef ; Mikel, Břetislav Document type: Papers Conference/Event: LASER64, Třešť (CZ), 20241113
Year:
2024
Language:
cze Abstract:
Oddělení Koherenční optiky Ústavu přístrojové techniky Akademie věd ČR (ÚPT) se již \nněkolik dekád věnuje pokročilému výzkumu v oblasti laserové interferometrie a délkové \nmetrologie. Tým skupiny Interferometrické a optovláknové instrumentace (IFI) se zaměřuje na \nvývoj inovativních interferometrických metod a metrologických přístrojů, které umožňují \nsubnanometrové rozlišení a zvyšují odolnost měření i v náročných podmínkách mimo \nlaboratoře. Významné výsledky posledních let zahrnují například návrh diferenčního \ninterferometru, vývoj přesných laserových zdrojů s vlnovou stabilizací a pokročilých metod pro \ndetekci fázových změn. Tato řešení našla využití jak při automatizované kalibraci měrek, tak \ni v souřadném odměřování v high-tech aplikacích, jako je elektronová litografie či kalibrace \nměřících systémů v extrémních provozních podmínkách, například v jaderných reaktorech. Host item entry: LA64. Sborník příspěvků multioborové konference LASER64, ISBN 978-80-87441-34-3
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: https://hdl.handle.net/11104/0365036