Název: Diagnostika polovodičových materiálů metodou EBIC
Překlad názvu: Diagnostic of semiconductor materials by EBIC method
Autoři: Kuznetsov, Vitalii ; Vaněk, Jiří (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2024
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Bakalářská práce se zabývá diagnostikou polovodičových materiálů metodou EBIC (měření proudu indukovaného svazkem) s využitím rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM). Práce popisuje princip činnosti rastrovacího elektronového mikroskopu, vysvětluje interakci elektronů s pevnou látkou a metodu EBIC. V teoretické části je také objasněn princip elektrické vodivosti polovodičů. Pomocí metody EBIC lze zkoumat dobu života a difuzní délku minoritních nosičů v polovodičích, na což je právě zaměřena praktická část práce. The bachelor's thesis deals with the diagnostics of semiconductor materials by the EBIC method (beam induced current measurement) using a scanning electron microscope (SEM). The thesis describes the principle of operation of the scanning electron microscope, explains the interaction of electrons with a solid substance and the EBIC method. The principle of electrical conductivity of semiconductors is also explained in the theoretical part. Using the EBIC method, the lifetime and diffusion length of minority carriers in semiconductors can be investigated, which is what the practical part of the work is focused on.
Klíčová slova: difuzní délka nosičů.; doba života nosičů; interakce PE s pevnou látkou; měření proudu indukovaného svazkem; polovodiče; Rastrovací elektronový mikroskop; carrier lifetimes; diffusion length.; electron beam inducted current; interaction of PE with solid; Scanning electron microscope; semiconductors

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: https://hdl.handle.net/11012/246875

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-619764


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce